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生于扬州,学前随父母去过西安、长沙、桂林、昆明、合川,小学在重庆,中学在上海,50年到北京国立高工读书,并在北京工作,70年来三线工作.82年定居成都.95年退休.游戏智慧是47年随父亲皈依贡戛活佛的法号.一生奉献于我国的计量事业,工作勤勤恳恳,刻苦钻研,事业略有所成.退休后致力于总结多年工作中的经验.子女均自立,一代更比一代强.尽享天伦之乐.

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向慧利仪器HOOLL9600平面干涉仪发布会祝贺 —张成悌的大会书面发言(原创)  

2017-08-14 15:00:05|  分类: 长度计量 |  标签: |举报 |字号 订阅

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向慧利仪器HOOLL9600平面干涉仪发布会祝贺

张成悌的大会书面发言

获悉苏州慧利仪器将于2017.9.8在深圳会展中心召开HOOLL9600平面干涉仪新品发布会。特向苏州慧利仪器董事长韩森先生发出最热烈的祝贺!2016年韩森先生曾莅临我院(中国测试技术研究院),我们曾有短暂的技术交流。

根据慧利仪器的公告该平面干涉仪:

1.绝对测量精度PV可达到λ/100(PV值即平面度的峰-谷值,精度可达到6纳米)

2.突破一等平面平晶限制(Φ150一等平面平晶在Φ140工作区间内两个相互垂直截面的平面度测量不确定度为10纳米,K=3,置信度为99.73%)

3.绝对测量重复性RMS可达λ/3000(RMS是平面上各点对理想面的偏差之均方根值。这里不知是指RMS的重复性,还是RMS代表测量重复性。重复性达到0.2纳米)

4.更加简便操作的俯式测量(俯式测量是指光轴是垂直的,平晶是水平放置的。这种模式要求被测件按其工作状态进行检测。对于平晶要求是无自重变形的平面度,被测平晶放置时应为均匀载荷支承,才没有弯曲变形的影响。)

 

立式移相干涉仪国内也有单位研制过或改装过,他们没有对仪器所带的标准平晶工作状态的平面度进行修正;而是以液面作为标准平面对标准平晶进行修理,使其平面度偏差达到λ/20至λ/40。使用时不再进行修正。这种仪器不能检测一等平晶或一级平晶,只能用于二级平晶和光学零件的平面度检测与测试[1][2][3]

慧利仪器干涉仪PV的精度可达到6纳米(nm),其标准平晶工作状态的平面度必然是经过检测,并将其平面度偏差存贮于电脑内。检测时能对测量结果进行修正。这种修正应该是点对点的修正,而不应该是PV值的修正,因为每次测量的PV值可能发生在不同的点上。所以应将所有点的平面度偏差的散发来计算平面度偏差的测量不确定度。我们不知道慧利仪器干涉仪6nm的测量精度是测量不确定度的标准偏差还是扩展不确定度。是扩展不确定度其K=2还是K=3

慧利仪器是如何检测仪器的标准平晶处于工作状态的平面度偏差及其运算。由于慧利仪器没有给出这方面的信息,所以我们无从知晓。但是我们分析不外乎有三种途径。一.慧利仪器有特定的检测组合和运算方法,能将仪器平晶与参考平面(包括液面)的平面度偏差各自分离出来。我们但愿能知其详。因为仪器出售后使用中还要进行周期检定。二.通过基准平晶进行传递,基准平晶可以在卧式干涉仪上检定[4][5]。特别是文献[5]给出的公式是非常实用的。卧式干涉仪上平晶是垂直放置的,没有重力变形的影响。三.将液面作为基准平面检定仪器平晶,液面的平面度偏差忽略不计。将仪器平晶的平面度偏差存于电脑中待检定时作修正用。这三种方法以第三种方法有问题。液面受地球半径、表面张力、电场、磁场、温场、液体的不洁度等的影响。1961年我们(国家计量局)曾做过实验,两端距边缘50mm,在180mm上液面有0.1μm的系统误差。不同液体配方对表面张力影响很大。如何将液面平面度控制在几nm以内是很困难的。将液面与仪器平晶的平面度进行分离也是很困难的。

 参考文献

1.南京英特飞光电技术有限公司,Hi-Marc-300L数字波面干涉仪使用说明书,20064

2.陈进榜宋德真……,高精度、大口径平面波像差标准──移相式数字平面干涉仪,《光学学报》199504

3.武旭华,φ300mm移相干涉仪的关键技术研究南京理工大学博士论文,2007.08.01

4.张成悌,两面法求平晶多截面平面度,计量技术,2016-447号稿件待刊登。

http://zct617.blog.163.com/blog/static/60040606201721071125267/

5.张成悌,平面基准如何进一步改进与提高,

http://zct617.blog.163.com/blog/static/60040606201721303333936/

 

 

 

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