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生于扬州,学前随父母去过西安、长沙、桂林、昆明、合川,小学在重庆,中学在上海,50年到北京国立高工读书,并在北京工作,70年来三线工作.82年定居成都.95年退休.游戏智慧是47年随父亲皈依贡戛活佛的法号.一生奉献于我国的计量事业,工作勤勤恳恳,刻苦钻研,事业略有所成.退休后致力于总结多年工作中的经验.子女均自立,一代更比一代强.尽享天伦之乐.

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评“基于机器视觉与等倾干涉术的平面度测量装置”一文 (原创)  

2008-04-24 12:45:44|  分类: 长度计量 |  标签: |举报 |字号 订阅

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评“基于机器视觉与等倾干涉术的平面度测量装置”一文 

张成悌

文章表明等倾干涉法测量平面度用机器读干涉环直径,计算干涉环小数级序,是一个重要的进步。但是文章还存在下列问题需要认真改进。

1.     文章没有给出改造前后确定干涉环小数级序的不确定度,以确定此次改造不确定度提高了多少,对平面度测量的不确定度又能提高多少。可以更进一步确定改造后的效果。

2. D0与仪器参数有关,与空气层厚度有关。而在测量时空气层厚度变化在微米级以内,因此对D0的影响可以忽略不计。在测量过程中不需要测量D0,并可以在改造后对D0作精确的测量,可以大大降低它对不确定度的影响。

3.     在软件处理图象前后,应确定其干涉小数级有无变化。以表明软件的正确性。处理前后测量不确定度可以提高,但是干涉小数级不应有变化,其差异应在不确定度允许的范围内。

4.   文章最后指出,该系统顺利通过国家计量院的Φ150mm平晶盲样检测,其四面互检平晶的扩展不确定度U≤0.020μm (k=3),符合JJG 28-2000的要求。如果该院在改造前就已经进行2等标准平晶的检定,说明未改造时其不确定度已经达到U≤0.020μm (k=3)。这次改造在不确定度方面并未有显见的提高。只是在劳动强度方面有所改善。主要受制于温度影响。等倾干涉仪在规定的温度环境下,其四面互检平晶的扩展不确定度U≤0.010μm (k=3) 。温度对不确定度的贡献达到60-70%。检定平晶所需要的时间在十分钟左右,而等温时间则长达数小时。用机器读数可以将检定时间缩短到1分钟以内,甚至几秒钟。但是等温时间是无法减少的。因此改善温度环境是提高平晶检定的精度与速度的主要手段。

5.   文章指出该系统没有解决自动判别干涉级序的变化。因而不能实现自动测量。在改善温度方面缺少了一个有力因素。如果能实现自动测量可以减少人体温度对环境的影响。计算机还可以根据环境条件达到规定要求时,自动进行测量。以减少温度的影响。

6.   现在平晶平面度是以两直径截面的直线度为基础的。实现自动测量后,可以增加测量截面和测量点。建立一种求三维等高地形图的数学模型,最终得到最小区域平面度。

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